TEM的配備儀器

TEM可以搭配額外的儀器或配備以提升或增加它的性能，如STEM、HAADF、EELS和EDS，

STEM為掃描穿透電子顯微鏡，全名是Scanning Transmission Electron Microscopy，場發(fā)射式TEM加裝了掃描線圈與環(huán)狀暗視野偵測器(Annular Dark Field Detector, ADF)就成為了STEM，圖3.4.41為STEM的基本架構(gòu)圖，一般的TEM是利用物鏡光圈與入射電子束相對位置的改變來取得明暗視野的影像，而STEM則是利用不同角度的偵測器來區(qū)分，如圖3.4.42，明視野影像偵測器與電子束的夾角小于10mrad，而環(huán)狀暗視野偵測器則介于10到50mrad間，至于高角度環(huán)狀暗視野偵測器(High Angle Annular Dark Field Detector, HAADF)則是大于50 mrad