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本文標(biāo)題："C-AFM的優(yōu)缺點(diǎn)！華北地區(qū)最好的國(guó)產(chǎn)顯微鏡供應(yīng)商"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2012-5-9 1:23:43 本站主頁(yè)地址：http://m.mhzljd.cn
C-AFM的優(yōu)缺點(diǎn)
傳統(tǒng)上我們尋找有漏電或open現(xiàn)象的contact或via時(shí)，都是在FIB里利用ion image的voltage contrast做判斷，但是它只能偵測(cè)大漏電或者完全open的情況，若是漏電微小或者阻值偏高時(shí)，這個(gè)方法就毫無(wú)用武之地。C-AFM利用電性量測(cè)的原理，可以偵測(cè)到pico，甚至是fento安培級(jí)的電流，因此微小漏電與高阻值的缺陷將無(wú)所遁形，不僅大大提高故障分析的成功率，也對(duì)制程改善微小缺陷提供了明確的方向，隨著制程尺寸愈趨縮小，對(duì)微小缺陷的容忍度越來(lái)越低，C-AFM正好提供這方面強(qiáng)大的分析能力，因此在未來(lái)漏電與高阻值的偵測(cè)上，C-AFM的運(yùn)用比例將逐漸提高。
C-AFM由于是用納米級(jí)的探針做偵測(cè)，所以它的影像解析度也可高達(dá)奈米級(jí)，與FIB影像不遑多讓?zhuān)栽?0nm逐漸量產(chǎn)之際，甚至未來(lái)的65nm與45nm的產(chǎn)品，C-AFM也是足堪應(yīng)付。
但也因?yàn)镃-AFM是用探針做直接接觸式的測(cè)量，故探針的耗損率也是很高，故此分析工具平常的保養(yǎng)與耗材費(fèi)用將所費(fèi)不貲。
依照先前所述的C-AFM量測(cè)原理，它是量測(cè)探針與基座的漏電電流，所以若偵測(cè)到了漏電，它必然是垂直方向的路徑，但如果漏電路徑是水平方向的，如subthreshold漏電，C-AFM仍是沒(méi)有能力偵測(cè)出的。
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