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光學(xué)透鏡組件之自動光學(xué)檢測系統(tǒng)簡介
設(shè)計了一微透鏡陣列之光學(xué)顯微干涉表面輪廓自動檢測系統(tǒng),透過基因演算法計算檢測之最短路徑,
由XY-Table按照此路徑移動進行檢測,以縮短檢測時間,提升系統(tǒng)效率。
此外,根據(jù)實際中心圓環(huán)面積與理想中心圓環(huán)面積之比例,判斷干涉條紋中心圓環(huán)相位角變化量;而最外側(cè)區(qū)域,
則根據(jù)實際圓環(huán)條紋亮度值變化量與理想圓環(huán)條紋亮度值變化量之比例,判斷干涉條紋最外側(cè)基底處圓環(huán)條紋相位角變化量,
可根據(jù)實際需求切換使用,提高量測精度。在不破壞微透鏡陣列的情況下,利用干涉條紋之亮度進行分析,得到微透鏡之輪廓資訊及直徑長度。
并將本系統(tǒng)之量測結(jié)果與原子力
顯微鏡、輪廓測定儀等系統(tǒng)進行比較,驗證了本系統(tǒng)之量測準確性與實用性。
光學(xué)投影機的原理:
從量測的觀點上談光學(xué)儀器,大家都舍近求遠,在人的眼睛就是大套非常
精密的光學(xué)儀器。約在 1352 年眼睛鏡出現(xiàn)在畫像。自此以后眼鏡制造業(yè),就
未曾中斷。如此看來,光學(xué)工程在整個人類社會中佔有相當久遠的歷史。再看
近代的望遠鏡、顯微鏡、光譜儀、雷射設(shè)備等設(shè)備,沒有一與光學(xué)無關(guān)。再看
品管檢驗的量具室
工具顯微鏡,光學(xué)投影機更是不可缺少的精密量測儀器。
在非接觸的量測過程中,最常用的量測儀器是光學(xué)投影機及工具顯微鏡兩
種。光學(xué)投影機及工具顯微鏡是利用光的折射、反射原理,將工作物之微小之
形狀表面等狀況,放大后觀察與量測。
光學(xué)投影機(Optical Projector),又稱光學(xué)投影檢查儀,簡稱投影機。
光學(xué)投影機利用光學(xué)原理,以投影的方法,將受測工年之外形輪廓經(jīng)過各
級透鏡的放大,再投影到半透明的投影幕上,利用已知標準的圖形,或具有刻
度功能的量具,正確詳細比較檢測,而獲得真實誤差情況,并讀出量測數(shù)值。
因此光學(xué)投影機的光學(xué)投影系統(tǒng),必需具備下列基本構(gòu)件,才能達到應(yīng)有
的功能
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