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本文標(biāo)題："掃描電子顯微鏡應(yīng)用于極細(xì)微元件測量"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2013-4-15 21:44:31 本站主頁地址：http://m.mhzljd.cn
掃描探針顯微技術(shù)(Scanning Probe Microscope，SPM)在結(jié)合奈米制造技術(shù)后所研發(fā)出奈米量測技術(shù)
最新的成果。因?yàn)槟蚊自谥圃爝^程中(奈米制造技術(shù))以及各種 相關(guān)技術(shù)的發(fā)展上都會(huì)需要量測做支援，所以觀測奈米元件的技術(shù)
(奈米量測技術(shù))對整個(gè)奈米技術(shù)的發(fā)展是不可或缺的。以這種觀點(diǎn)為出發(fā)點(diǎn)，
期待掃描探針顯微技術(shù)(SPM)可以發(fā)展成將奈米量測技術(shù)、奈米制造技術(shù)以及探索奈米級物質(zhì)特性技術(shù)
這三種技術(shù)加以融 合重整為一多功能整合性技術(shù)。
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