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本文標題："磨擦劃痕與背隙孔隙率測量影像測量工具顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-9-25 22:01:02 本站主頁地址：http://m.mhzljd.cn
磨擦劃痕與背隙孔隙率測量影像測量工具顯微鏡
微奈米精密對位(Alignment)是平面顯示器或相關精密產(chǎn)品制程中非常普遍
需要的基本動作功能，此精密對位的對位精準度與作動反應速度，對整部制
程設備的性能具關鍵性之影響。針對精密對位傳統(tǒng)上大致皆應用一般伺服定
位系統(tǒng)，然一般伺服定位系統(tǒng)常因傳動機構之庫 倫靜磨擦與背隙效應而讓運
動分辨率及控制性能大為受限，壓電驅動精密對位由于絕佳運動分辨率及高
剛性而被視為是一相當有效的解決之道。
然壓電驅動精密對位仍有兩大問題:
1.壓電致動器具遲滯、潛變、飽和等非線性特性，
2.(2)對位之基準大多為被對位物件上之光學標 記，
3.有賴顯微視覺加以量測回授。本研究之目的即在克服壓電致動器之遲滯、
4.潛變、飽和等非線性問題，使其控制性能更佳，
5.并與顯微視覺量測回授整合而成精密對位系統(tǒng)。
為此本研究建構提出一新創(chuàng)之壓電驅動非線性模型，模型簡潔、具物理意義、易設計其
反遲滯電路、 并具相當精確性
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