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本文標題："檢測型顯微鏡在電路芯片制造的應用-檢測顯微鏡價格"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-4-18 19:53:41 本站主頁地址：http://m.mhzljd.cn
顯微鏡在電路芯片制造的應用
在解剖集成電路器件以進行工藝研究或描繪測從芯片版圖時，解剖
人員首先希望獲得一幅清晰的芯片表面放大照片，特別是對一些集成度
較高，工藝結(jié)構(gòu)較復雜的集成電路芯片，
不僅要求照片有足夠大的放大倍率（一般為400 倍），更冤要的是，
從照片上能夠清楚辯認制造芯片的各次光刻區(qū)間。
可以應用新的的集成電路芯片顯微照相技術(shù)，在電路芯片拍照之前，
首先在芯片表面真空蒸發(fā)一層Al膜，就可大大改善拍照的效果。
用這種辦法很容易得到圖象清晰、黑白分明的照片，而且不受芯氧
化層顏色的影響。照相底片經(jīng)放大10倍后曬出的照片，圖案仍象在描圖
紙上描繪出來的圖案一樣清晰，甚至在芯片預處理之前在顯微鏡下不易
認準的輪廓線條，在照片上也能清晰地顯露出來。
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