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本文標(biāo)題："瑕疵的表面檢測顯微鏡三維計量方法的優(yōu)點"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-7-18 22:44:15 本站主頁地址：http://m.mhzljd.cn
瑕疵的表面檢測顯微鏡三維計量方法的優(yōu)點
波前計量方法是分析一束與待測樣品相互作用后的波前。一般地，波前計量
方法使用矩陣傳感器，因而能夠快速收集三維信息。波前計量方法的優(yōu)點是:
不僅可以應(yīng)用于表面測量，而且也能測量整個元件的特性，對于后者，可以測量
透明光學(xué)元件。有時.開創(chuàng)了一種純表面測量可能相當(dāng)難以實現(xiàn)的功能性測量方法。
在某些情況下，兩個表面對波前的組合效應(yīng)要比其中一個的單獨作用弱或簡
單些，這不僅是測量組件波前的能量，而且也是一個位得注意之處.當(dāng)測量兩個
以上表面的組合作用時，找出潛在缺陷的根本原因并不容易，利用其他檢驗方法
或者制模工的經(jīng)驗有助于查明具有最大瑕疵的表面。為了對生產(chǎn)進(jìn)行質(zhì)量控制，
透射干涉術(shù)和波前傳感法是非常有用的技術(shù)，利用這些方法可以測量一個零件的
光學(xué)功能，所以，很容易地應(yīng)用合格/不合格判斷準(zhǔn)則。此外，只需完成一次而
不是兩次表面測量。下面討論干涉術(shù)和其他波前傳感技術(shù)。未明確表明區(qū)別時，
則這些計量技術(shù)可以應(yīng)用于表面和透射波前兩種測量。
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