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圓度測量
顯微鏡-多功能專用的光學(xué)儀器定制
與此相比較,(1)的方法,是要旋轉(zhuǎn)一定重量的檢測器,加
給旋轉(zhuǎn)裝置的載荷,與被測物體無關(guān),幾乎是一定的。為此,適
合于被測物體為大型的比較重的測定。但為了把旋轉(zhuǎn)裝置安裝在
支承柱上,旋轉(zhuǎn)中的振動容易影響測量精度,而且
測量顯微鏡本身也
夠龐大了。
其次,如前所述,被測物體與旋轉(zhuǎn)軸心,要安裝得不偏心,
因此必須消除進(jìn)入檢測信號中的偏心成分,這樣的裝置是必
要的。
另外,為了把檢測出的偏差轉(zhuǎn)換為電量,作為電信號而輸出
的檢測器,從這個電信號中只提取適當(dāng)?shù)念l率成分以表示正圓度
值的裝置,以及必要的倍率記錄與基準(zhǔn)圓的偏差的極坐標(biāo)記錄計
都是需要的。
構(gòu)成正圓度測量顯微鏡的主要裝置如上所述。其
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