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本文標(biāo)題："微米級(jí)加工精度和工件的尺寸測(cè)量工具顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-11-12 12:39:43 本站主頁(yè)地址：http://m.mhzljd.cn
一般的， 在掃描測(cè)量法中，需先確定好嚴(yán)格的測(cè)量基準(zhǔn)，
然后開(kāi)始對(duì)對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行掃描，以此查獲得被測(cè)量物的相對(duì)
位置變化或相對(duì)角度等。根據(jù)母性原理，掃描測(cè)量法和測(cè)量精
度由以下兩個(gè)因素決定：
精密檢測(cè)技術(shù)是順應(yīng)精密加工技術(shù)的需求出現(xiàn)和，且伴隨加
工技術(shù)的進(jìn)步而發(fā)展。對(duì)工件的檢測(cè)與評(píng)價(jià)順由檢測(cè)技巧決定
。精密加工技術(shù)和精密檢測(cè)技術(shù)就像汽車上的兩個(gè)輪子，
缺一不可。一般的，加工精度和工件的尺寸之比超過(guò)了10，或
是加工精度的絕對(duì)值為微米級(jí)或超出這一范圍的加工都可稱為
超精密加工。超精密檢測(cè)技術(shù)的精度必須比對(duì)應(yīng)的超精密加工
精度高一個(gè)數(shù)量級(jí)。最近，超精密加工的精度要求不斷地提高，
對(duì)加工面形的要求不僅僅是平面或鏡面的加工。
而且對(duì)非球面形狀部件加工的需求也越來(lái)越多。非球面能平衡
光學(xué)誤差，這種優(yōu)越的光學(xué)性能使非球面光學(xué)元件具備廣泛的
應(yīng)用前景。為了能實(shí)現(xiàn)多種形狀的超精密加工，超精密測(cè)量技
術(shù)將被寄予更高的期望。
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