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本文標(biāo)題："電容式測(cè)微儀測(cè)量表面粗糙度原理的定制設(shè)計(jì)"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2015-6-26 12:34:18 本站主頁(yè)地址：http://m.mhzljd.cn
電容式測(cè)微儀測(cè)量表面粗糙度原理的定制設(shè)計(jì)
電橋式電容測(cè)微儀的主要缺點(diǎn)是易受雜散寄生電霍：以及電纜電容
的影響，使儀器不穩(wěn)定，有較大的測(cè)量誤差。這種測(cè)量原理只能用
在傳感器本身的電容量及其變化量都比較大的場(chǎng)合。
隨著電子技術(shù)的發(fā)展，電纜驅(qū)動(dòng)技術(shù)的出現(xiàn)，使得電容測(cè)微技術(shù)有
可能克服上述缺點(diǎn)，從而研制成新的高精度和高靈敏度的電容式測(cè)
微儀。運(yùn)算式電容測(cè)微儀可以在很寬的范圍內(nèi)精確地測(cè)量微小相對(duì)
位移和10一2000Hz的振動(dòng)幅值。表面粗糙度的概：念及表征參數(shù)加
工后的零件的實(shí)際表面，、并不是絕對(duì)理想的，而是有著各種不同
節(jié)距的峰谷起伏。
一般可以把零件實(shí)際表面對(duì)理想表面的偏差按起伏的節(jié)距大小分為
微觀不平度、波度與宏觀幾何形狀誤差
微觀不平度就是表面粗糙度，有時(shí)也稱光潔度，其粗高與粗距都很
小。波度是一種周期性的起伏，它的波距比波高大得多。宏觀形狀
誤差就是一般所說(shuō)的直線度、平面度、圓度等等，它的波距很大，
在一個(gè)表面上只有幾個(gè)起伏，甚至不呈周期性變化。零件表面粗糙
度，對(duì)機(jī)器或儀器的性能、壽命、可靠性等均有很大的影響。具體
地說(shuō)，它與零件表面的使用特
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