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本文標題："測量速度和精度顯微鏡的放大倍數(shù)所決定"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2015-7-13 20:30:20 本站主頁地址：http://m.mhzljd.cn
測量速度和精度顯微鏡的放大倍數(shù)所決定
測量裝置
安裝在車床上的高速測量粗糙度的裝置，放在操作者位置的對
面，光軸所在的面呈水平方向，且包含被切削材料的軸心，從右
方向聚焦激光光束，用它照射被切削的表面，用左邊的顯微鏡放
大該光點象，并在熒光屏上成象，所投影的象通過依次相間25μ
m的256個光電二極管組成的陣列檢測出來，測量速度和精度由陣
列的同步脈沖頻率及顯微鏡的放大倍數(shù)所決定，當同步脈沖頻率
為5MHz，顯微鏡的放大倍數(shù)為20倍時，該裝置可達到下列性能指
標：頻率特性為10KHz，分辨率為1μm，線性寬度為100μm。
從陣列的一端開始同步脈沖掃描，同時開始脈沖計數(shù)，視頻脈
沖到達光點象位置后，每來一個脈沖一個數(shù)，當視頻脈沖計數(shù)結(jié)
束時，將與光點象中心相對應的單元位置用數(shù)字量顯示出來。
用于非常精細表面的粗糙度測量的光學和數(shù)字方法，表面干涉
條紋圖樣的等密度照片被視頻掃描，其信息存儲在256X512(或51
2X512）點距陣電路中，信息進一步變換成用相應的灰色值表示
的數(shù)字形式。
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