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本文標(biāo)題："物理量測(cè)量微機(jī)械制造技術(shù)-微觀顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2016-5-12 1:27:18 本站主頁地址：http://m.mhzljd.cn
物理量測(cè)量
微薄膜材料的力學(xué)性能，如殘余應(yīng)力、彈性模量、抗拉強(qiáng)
度和斷裂韌性等，是決定微機(jī)械特性的重要參數(shù)。微薄膜與塊材有
著不同的力學(xué)性能，人們對(duì)其力學(xué)性能所知甚微，常規(guī)的方法難以
測(cè)試微薄膜的力學(xué)性能，但可以考慮利用諧波頻率法。
殘余應(yīng)力測(cè)量
在微機(jī)械構(gòu)件制造過程中，會(huì)在構(gòu)件內(nèi)留下殘余應(yīng)力。因殘
余應(yīng)力的作用，利用微機(jī)械制造技術(shù)制作出兩端固定梁，將受軸向
力作用。設(shè)均值等截面的兩端固定梁所受的軸向應(yīng)力是均勻分布的
、各部位是相等的。
測(cè)量與結(jié)果
測(cè)量懸臂梁和兩端固定梁的一階諧振頻率，從而求其彈性模
量和殘余應(yīng)力。諧振頻率的測(cè)量系統(tǒng)中，被測(cè)固定梁固定在電極上
方，在電極與硅梁間施加正弦電壓，使電極與硅梁間產(chǎn)生靜電引力
，使硅梁產(chǎn)生振動(dòng)。把激光聚焦于懸臂梁的自由端或兩固定梁的中
間，用光電二極管接受硅梁反射來的光束。使光電二極管的受光面
與反射來的光束的光斑部分相交，硅梁上下振動(dòng)時(shí)，光斑與受光面
積也對(duì)應(yīng)地增減，輸出的電壓也隨之增減。硅梁振幅越大，輸出的
電壓越大。調(diào)節(jié)加在硅梁與電極間的驅(qū)動(dòng)電壓的頻率，輸出電壓的
振幅極大時(shí)的頻率為梁的一階諧振頻率。
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