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本文標(biāo)題："工件表面凝結(jié)形成固體的涂層微電子工業(yè)分析"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2016-7-15 1:14:06 本站主頁地址：http://m.mhzljd.cn
工件表面凝結(jié)形成固體的涂層微電子工業(yè)分析
在工件表面凝結(jié)形成固體的涂層�？梢钥考訜峁ぜ龠M(jìn)金屬原子的
擴(kuò)散來改善金屬涂層的質(zhì)量以及涂層—基底界面的強(qiáng)度。
在PVD工藝中，形成涂層的原子一般由“物理”的方法所產(chǎn)生
，例如蒸發(fā)或?yàn)R射。然而，如果涂層的原子是由化學(xué)反應(yīng)而得到的
，則這工藝稱為化學(xué)氣相沉積℃VD工藝用來制備多種涂層，其應(yīng)用
范圍也表現(xiàn)在從微電子工業(yè)到表面耐磨層的沉積等多個領(lǐng)域。例如
，可以采用CVD工藝在工具的表面涂以硬質(zhì)的氮化鈦以改善其耐磨
性。把工件被放人石墨的坩堝或盤子上，在惰性氣體中加熱至950
—1050℃，然后將四氯化鈦氣體、氫氣與氮?dú)馔ㄈ饲惑w，由化學(xué)反
應(yīng)得到的氮化鈦就會在工件的表面產(chǎn)生涂層。
熱浸鍍是一種將金屬涂以其他高熔點(diǎn)金屬表面的涂層工藝。該
工藝是把工件簡單地浸入涂層材料的熔池之中。熱浸鍍的一個常見
的例子是鋼板鍍鋅，鍍鋅的鋼板稱為鍍鋅鋼，它可用作管道，螺絲
與釘以及汽車車體等。
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