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本文標(biāo)題："結(jié)構(gòu)工藝分析微小零件輪廓分析顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2017-12-9 22:31:24 本站主頁(yè)地址：http://m.mhzljd.cn
結(jié)構(gòu)工藝分析微小零件輪廓分析顯微鏡
1．裝配調(diào)整矢量磁強(qiáng)計(jì)三分量探頭必須保持正交，并與基準(zhǔn)
面平行或垂直。如果測(cè)量精度要求不高，尚可依靠精密加工和正確
裝配來(lái)保證。但是，高精度磁強(qiáng)計(jì)探頭必須精確裝配調(diào)整。例如，
若探頭軸線偏離理論方向，由于實(shí)測(cè)磁場(chǎng)分量與應(yīng)測(cè)磁場(chǎng)分量之差
，可能成為誤差大項(xiàng)，甚至破壞儀器精度。在10mm基準(zhǔn)長(zhǎng)度上只要
出現(xiàn)0．01mm的不平行度，磁場(chǎng)強(qiáng)度的相對(duì)誤差可達(dá)1‰，測(cè)向誤差
約3．5’，地磁測(cè)量時(shí)的絕對(duì)誤差為60nT。
磁通門(mén)探頭定向誤差由下列三種因素造成：首先是探頭測(cè)磁軸
向與裝配基準(zhǔn)的偏差，根據(jù)第五章的探頭結(jié)構(gòu)工藝分析，可知這項(xiàng)
偏差要比加工誤差大的多，而且為保證鐵心自由而存在相當(dāng)大的游
動(dòng)量；其次是裝配偏差，由于定位間隙和緊固作用造成的裝配偏差
一般也比加工誤差大，而且是隨機(jī)的；最后才是加工誤差，保證0
．01mm的形位公差已經(jīng)是精加工了。
矢量磁強(qiáng)計(jì)三分量探頭定向的安裝調(diào)整方法可參照第五章提供
的調(diào)試技術(shù)，但是要將定向誤差降低到0．10以下就相當(dāng)困難了。
所以．高精度磁通門(mén)式磁強(qiáng)計(jì)的探頭裝配調(diào)整需要高度穩(wěn)定的磁場(chǎng)
環(huán)境(屏蔽室和人工磁場(chǎng))、精密三軸無(wú)磁轉(zhuǎn)臺(tái)和精密測(cè)試儀器。
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