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本文標(biāo)題："微機械機理-表面微加工技術(shù)分析顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2018-1-20 1:10:02 本站主頁地址：http://m.mhzljd.cn
微機械機理-表面微加工技術(shù)分析顯微鏡
科學(xué)技術(shù)的發(fā)展使人類在探索宏觀世界的同時，也在向微觀世
界進軍。1965年諾貝爾物理學(xué)獎的獲得者、著名物理學(xué)家費恩曼(R
ichard P．Feynman)教授曾敏銳地觀察到了這一領(lǐng)域在科學(xué)技術(shù)方
面潛在的巨大推動作用。他曾在1959年的美國物理學(xué)會年會上發(fā)表
了極富有遠見且具有開拓性的重要報告，“There’SPlenty of Ro
om at the Bottom”，他在報告中預(yù)示了制造微小器具技術(shù)的出現(xiàn)
，可以采用大型機器來制造比自己體積小的機器，而這小的機器又
可以制造更小的機器，這是一條自上而下(Top．Down)從宏觀到微
觀的發(fā)展途徑。同時，他還論述了人們可以按照希望的方式以原子
、分子為模塊來構(gòu)筑各種物質(zhì)，這是一條自下而上(Bottom—Up)由
小至狀的新途徑。而且文中一些涉及微機械機理的觀點至今仍是該
領(lǐng)域的重要研究課題。
微機電系統(tǒng)是以半導(dǎo)體(特別是硅)為材料，以IC(集成電路)加
工技術(shù)為手段，以固態(tài)物性傳感器為背景發(fā)展起來的。20世紀(jì)80年
代中期，美國加州大學(xué)Berkeley分校、威州大學(xué)Madison分校等單
位研究出了表面微加工技術(shù)。他們以多晶硅薄膜作為結(jié)構(gòu)材料，以
磷硅玻璃作為犧牲層，制成了多晶硅壓力傳感器、硅梁和連桿等微
機械運動部件。1987年美國加州大學(xué)Berkeley分校研制出了轉(zhuǎn)子直
徑為60t_Lm～120斗m的硅靜電微馬達，
微機電系統(tǒng)在繼承和發(fā)展微電子技術(shù)的基礎(chǔ)上，通過微型化和
集成化來建筑新的工作原理、新的功能、新的材料、新的結(jié)構(gòu)、
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