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底柵型結(jié)構(gòu)工序電路樣本分析圖像
顯微鏡廠家
頂柵型結(jié)構(gòu)的缺點主要是:由于半導(dǎo)體層是在第一層放置的,因此有
可能會受到后續(xù)工藝過程中熱循環(huán)和溶劑的影響,從而降低晶體管的性能
。
而在底柵型結(jié)構(gòu)中,一方面由于印刷半導(dǎo)體一般是最后一步工序,唯
一可能的后續(xù)步驟是包覆一層保護電路的絕緣層。因此,底柵型結(jié)構(gòu)中半
導(dǎo)體材料 園可以保持較高的性能。另一方面,由于底柵型結(jié)構(gòu)的晶體管
中,半導(dǎo)體層是在柵極和電極之后印刷的,因此相較于頂柵型結(jié)構(gòu)晶體管
而言,半導(dǎo)體層所依附的界面相對粗糙,性能不夠理想。所以,相對于優(yōu)
化的頂柵型結(jié)構(gòu)而言,底柵型結(jié)構(gòu)晶體管的半導(dǎo)體層的秩序化程度和形貌
較差。
因此,綜合來講,兩種晶體管各有優(yōu)缺點。究竟選取哪種結(jié)構(gòu)取決于
所采用的材料體系。例如,當(dāng)采用燒結(jié)步驟,而且半導(dǎo)體熱不穩(wěn)定時,更
適合采用底柵型結(jié)構(gòu),這是因為后續(xù)的燒結(jié)步驟會降低頂柵型結(jié)構(gòu)晶體管
中半導(dǎo)體性能。鑒于這種狀況,我們有必要單獨討論這兩種結(jié)構(gòu),并明確
與之相關(guān)聯(lián)的特殊工藝過程。
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