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本文標題："三坐標測量工具顯微鏡能夠建立三維測量影像"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-1-20 1:09:15 本站主頁地址：http://m.mhzljd.cn
常用雷射搭配一位置靈敏光強偵測器之偵測方式(beam-bounce technique)。
利用原子力顯微鏡量測共聚物的電區(qū)之架設(shè)示意圖（b）鐵電共聚物之鐵電區(qū)影像
由 A.Gruverman 等人首先在 PbZrTiO3 (PZT)鐵電薄膜施加一直流電壓使其極化反轉(zhuǎn)后觀察其鐵電區(qū)影像，
同年使用壓電力顯微鏡（piezoresponse force microscope）的量測來比較 PZT 薄膜分別成長在 Ru 和 Pt
上鐵電區(qū)結(jié)構(gòu)的差異[4]。之后于 1998 年研究 PZT 鐵電薄膜在〝奈米尺度〞下的
鐵電區(qū)及電區(qū)反轉(zhuǎn)（domain switching）行為在這先前的壓電力顯微鏡量測只有極化方向垂直于薄膜的分量
可被量測，稱之為 vertical PFM；同年(1998 年)發(fā)展出可量測極化方向平行于薄膜表面的 lateral
PFM，又 2006 年 S. V. Kalinin 及 B. J. Rodriguez 量測 PbTiO3 鐵電薄膜同一鐵
電區(qū)的 vertical PFM 及 lateral PFM，建立了二維鐵電區(qū)影像，并利用探針偏斜機制來建立三維鐵電區(qū)影像，稱為 vector PFM。
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