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電流
顯微鏡擁有高訊號靈敏度與高解析度等優(yōu)點
掃描電流顯微鏡迅速發(fā)展成為納米檢測的主要工具之一,利用掃描探針顯微鏡的基礎并結合電流量測技術,
不僅提供了二維電性影像資訊,還能針對特定區(qū)域進行電流-電壓曲線分析,因此對于業(yè)界應用與學界研究的重要性也相對增加。
雖然掃描電流顯微鏡擁有高訊號靈敏度與高空間解析度等優(yōu)點,但也因量測極為靈敏容易受其他因素干擾而導致訊號失真,
所以探討可能影響量測訊號的主要因素并加以有效控制,已成為使用掃描電流顯微鏡進行納米檢測時必須注意的重點之一。
掃描電流顯微鏡的基本架構、原理與應用實例,此外,對于影響量測訊號穩(wěn)定性因素的相關研究也將在文中一併探討,
期望能對產學界的研究與應用有所幫助。
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