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本文標(biāo)題："顯微鏡高質(zhì)量和測(cè)量精準(zhǔn)的條件是機(jī)械裝置與傳感器的對(duì)準(zhǔn)"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-7-15 7:26:08 本站主頁地址：http://m.mhzljd.cn
顯微鏡高質(zhì)量和測(cè)量精準(zhǔn)的條件是機(jī)械裝置與傳感器的對(duì)準(zhǔn)
表示僅利用透鏡中心部分產(chǎn)生準(zhǔn)直光束的待測(cè)透鏡(LUT)。對(duì)
于注塑模壓成型光學(xué)元件，一般地，透鏡中心部分質(zhì)量非常高.在多
數(shù)情況下，透鏡通光孔徑較外面部分具有較大像差，主要是由工藝
參數(shù)、脫模等因素所致。
若利用圖所示結(jié)構(gòu)測(cè)量模壓光學(xué)系統(tǒng)，就會(huì)恰好沒有探測(cè)透鏡較外面
的乖要部分，所以，更可取的方法是設(shè)計(jì)一個(gè)具有較高數(shù)值孔徑的照明
系統(tǒng)，
保證盡可能多的光透過待測(cè)透鏡表面。出射波前稍有發(fā)散，但利用輔助
光學(xué)系統(tǒng)可以得到準(zhǔn)直。利用該方法可以測(cè)量透鏡的大部分，
包括通光孔徑較外面的重要部分。
在某種程度上，這種方法非常類似于干涉儀中利用補(bǔ)償光學(xué)系統(tǒng)測(cè)量光學(xué)元
件。標(biāo)定仍然是重要問題，為了獲得可靠的測(cè)量結(jié)果，需要使用智能標(biāo)定方法。
完成高質(zhì)量和可靠測(cè)量的必要條件是機(jī)械裝置與傳感器的對(duì)準(zhǔn)。除軟件類似
于干涉儀，能夠減除波前傾斜和光焦度外.該裝置應(yīng)包含一些標(biāo)定和對(duì)準(zhǔn)器件
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