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波譜分析儀簡介和應(yīng)用-光學(xué)儀器常識和結(jié)構(gòu)
波譜分析儀
波譜分析儀是在電子探針內(nèi)用人射電子束轟擊試樣被激發(fā)出的特征X射線,不是用能
量而是用檢測特征X射線的波長,即利用衍射品體對X射線進行波長分散,然后來識別元
素,再根據(jù)脈沖計數(shù)檢測其強度以標定元素的濃度。獲得的波譜曲線其橫坐標即為波長分
布譜線,方向(元索的排列次序)正好與EDS圖相反,
橫坐標是不同元索X射線光子能量(keV)排序,下方橫坐標是X射線波長(0. 1 nm)反向排序,
所對應(yīng)的元素是相同的,縱坐標是元素X射線光子能量的發(fā)射強度,則表示元素的量(濃度)。
失效分析工作的目標主要是搞清失效的原因。其中心任務(wù)是環(huán)繞弄清失效的模式、失效的
機理,尋求弄清導(dǎo)致失效的諸多因素、各種因素的主次關(guān)系,提出防止失效主要對策。失效分析
工作涉及許多學(xué)科和專業(yè),由單一專業(yè)的人員很難全面和綜合地完成,特別是高難度復(fù)雜的大
型失效分析工作。失效分析技術(shù)是有多學(xué)科相互滲透的特點,
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