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本文標(biāo)題："對(duì)于長(zhǎng)度的測(cè)量，形狀及表面的粗糙度測(cè)量顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2015-7-24 22:41:21 本站主頁(yè)地址：http://m.mhzljd.cn
對(duì)于長(zhǎng)度的測(cè)量，形狀及表面的粗糙度測(cè)量顯微鏡
當(dāng)要求特別高的精度時(shí)，其中包括對(duì)于長(zhǎng)度的測(cè)量，形狀的規(guī)
格性的檢核和表面的粗糙度的檢核及對(duì)于反射鏡小傾斜度的測(cè)量，
凡此種種測(cè)量工作中，均應(yīng)用著干涉型的儀器(干涉儀)。在干涉
儀中，可采用兩條或多條相干光束的干涉。有兩種應(yīng)用干涉方法的
可能，第一是根據(jù)干涉條帶的位移，測(cè)量直線的位移。很容易以
0．1的條帶寬度的精度來測(cè)量這個(gè)位移，也就是說測(cè)量平面位移的
誤差達(dá)0．03微米。干涉的第二種應(yīng)用是借助于標(biāo)準(zhǔn)表面來檢核其它
表面的平面度。
在測(cè)量實(shí)際中，基于測(cè)量條帶位移原理的干涉儀，得到最廣泛
的推廣。比如，根據(jù)條帶位移測(cè)定用來測(cè)定水準(zhǔn)器靈敏度的檢驗(yàn)儀
的反射鏡傾角。該方法的實(shí)質(zhì)就是以光波長(zhǎng)度根據(jù)測(cè)量直角三角形
小直角邊來測(cè)定小的傾角。
垂高計(jì)的工作原理是利用望遠(yuǎn)鏡依次照準(zhǔn)被測(cè)量構(gòu)件的起、末
兩端，將被測(cè)構(gòu)件的尺寸和垂高計(jì)的作業(yè)尺進(jìn)行比較。：任何垂高計(jì)
的原理圖都是由下列基本構(gòu)件組成：沿導(dǎo)軌移動(dòng)的照準(zhǔn)設(shè)備(通常
這種設(shè)備是望遠(yuǎn)鏡)，望遠(yuǎn)鏡整平設(shè)備(借助于水準(zhǔn)器或液體水平
及自準(zhǔn)直儀)、作業(yè)尺(分劃尺)和讀數(shù)設(shè)備(顯微鏡、錐形體和
放大鏡)。
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