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本文標(biāo)題："用于測(cè)量金屬的和其它材料的表面加工痕跡的顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2015-7-26 16:56:35 本站主頁(yè)地址：http://m.mhzljd.cn
用于測(cè)量金屬的和其它材料的表面加工痕跡的顯微鏡
干涉顯微鏡是用于測(cè)量微觀不平度的干涉儀，或用于測(cè)量
金屬的和其它材料的表面加工痕跡的干涉儀。如像在檢查表面形
狀那樣，按干涉條紋的彎曲量來(lái)測(cè)量微觀不平高度。而用于測(cè)量
表面微小不平高度的光學(xué)儀器應(yīng)具有高放大倍數(shù)和分辨率。因此
干涉顯微鏡實(shí)際上是干涉儀(通常是邁克爾遜干涉儀)和顯微鏡
的結(jié)合。
裝在生物顯微鏡上的一個(gè)套筒，有一個(gè)顯微物鏡裝在干涉儀的外
面，放大倍數(shù)不大(至200倍)。儀器的第二方案已經(jīng)采用兩個(gè)顯
微物鏡，分別裝在干涉儀的兩支光路中。這樣，可采用大孔徑的
物鏡，并得到較高的放大倍數(shù)至500倍)
顯微物鏡孔徑的作用 為了分辨出被檢表面的狹窄痕跡(寬
度小于1微米)，儀器的放大倍數(shù)應(yīng)不低干500倍，而物鏡的孔
徑要盡可能大。但是，大家知道，于L徑增大，干涉圖樣的對(duì)比度
就降低，干涉條紋的分度值就增大，也就是干涉顯微鏡的靈敏度減
小。
當(dāng)儀器的分辨率不起主要作用時(shí)(例如在測(cè)量階梯高度時(shí))，
公式才是正確的。但是在測(cè)量窄刻線(xiàn)的深度(特別在表
面微觀峰谷的夾角很小時(shí))，物鏡孔徑越大，越接近于真實(shí)深度，
因?yàn)楫?dāng)用小孔徑物鏡工作時(shí)，有些劃痕的底部“模不到”。在
這種情況下的測(cè)量誤差與物鏡的孔徑、刻線(xiàn)的輪廓角和其他一些
因素的相互關(guān)系還研究得不夠。
孔徑的作用有定性的解釋。在大孔徑
物鏡和小孔徑物鏡兩種情況下，同樣一條刻線(xiàn)得出不同的干涉條
紋。在這兩種情況下，干涉條紋都復(fù)現(xiàn)刻線(xiàn)的輪廓，但是在第一
種情況下，刻線(xiàn)壁分離得很深，可是在第二種情況，刻線(xiàn)壁幾乎
與其片基聯(lián)成一片�？墒菞l紋的斷裂深度在兩種情況大致相等。
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