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本文標(biāo)題："表面檢測中準(zhǔn)確度和精度計量粗糙度輪廓儀"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2016-7-3 21:17:54 本站主頁地址：http://m.mhzljd.cn
表面檢測中準(zhǔn)確度和精度計量粗糙度輪廓儀
確定系統(tǒng)性能的術(shù)語和問題
所有的輪廓儀都需要進行仔細(xì)的標(biāo)校，尤其是在測量諸如MEMS
系統(tǒng)這樣的微小對象時。不同外形的系統(tǒng)，其性能都是利用一些典
型對象來進行標(biāo)定，這些典型對象都可以在一些最基本的標(biāo)準(zhǔn)下給
出了確切的測量值。
最為常用的一個典型對象是臺階，例如一個臺階對象用來進
行垂直方向掃描的校準(zhǔn)，同時一個刻蝕的二元光柵元件常用于標(biāo)定
橫向放大率。其他的典型對象，如正弦型光柵或者不同粗糙度的表
面也用于系統(tǒng)性能的校驗。統(tǒng)提供的參考值進行比較是沒有意義的
。
在確定系統(tǒng)性能的同時，測量中還有兩個非常重要的問題，分
別是重復(fù)性和再現(xiàn)性。一般而言，重復(fù)性定義為在不改變系統(tǒng)的前
提下，短時間內(nèi)對測量對象的一個參數(shù)進行多次測量得到的1盯標(biāo)
準(zhǔn)偏差。再現(xiàn)性是指在不同的測量條件下在一段較長時間內(nèi)多次測
量的結(jié)果分布。對一個系統(tǒng)的評價其實就是針對一個測量對象確定
參數(shù)的重復(fù)性和再現(xiàn)性。檢測的程序和給出的評價值應(yīng)該給出清楚
的說明，并為使用者和廠商認(rèn)可，這也是很重要的。
在表面檢測中有兩個容易混淆的術(shù)語：準(zhǔn)確度和精度。準(zhǔn)確度
是指測量值與真值之間的接近程度(如一個典型對象的測量值)。精
度則指測量的分布狀態(tài)，也可以用重復(fù)性和再現(xiàn)性來表述。
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