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本文標(biāo)題："物鏡和被測(cè)表面-顯微鏡物鏡有足夠長(zhǎng)工作距離"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2016-7-3 21:18:05 本站主頁(yè)地址：http://m.mhzljd.cn
物鏡和被測(cè)表面-顯微鏡物鏡有足夠長(zhǎng)工作距離
由一個(gè)物鏡、一個(gè)分光鏡和一個(gè)獨(dú)立的參考平面組成。為了能
夠在物鏡和測(cè)試表面之間放入分束器，顯微鏡物鏡必須有一個(gè)足夠
長(zhǎng)的工作距離。正因如此，邁克耳遜干涉儀只能與放大倍數(shù)低、數(shù)
值孔徑小且工作距離長(zhǎng)的物鏡一起使用。
在物鏡和被測(cè)表面中間有兩個(gè)小玻璃板。一個(gè)板上有一個(gè)小的
反射點(diǎn)用作參考面，另一個(gè)在其一側(cè)鍍膜作為分束鏡。包含反射點(diǎn)
的小玻璃板還可以作為一個(gè)補(bǔ)償板。這種干涉儀結(jié)構(gòu)是在物鏡的放
大率中等、沒(méi)有足夠的空間插入分束棱鏡來(lái)構(gòu)成邁克耳遜干涉儀時(shí)
采用。米勞干涉儀對(duì)于放大倍數(shù)低于10倍的物鏡來(lái)說(shuō)并不實(shí)用，因
為在低放大倍數(shù)時(shí)參考點(diǎn)過(guò)分遮擋了孔徑。參考點(diǎn)必須要大于物鏡
的視場(chǎng)，因?yàn)樗且粋�(gè)與被測(cè)對(duì)象最佳焦平面共軛的面。當(dāng)放大倍
數(shù)在50倍左右時(shí)，物鏡的工作距離就會(huì)太短而不能在其下方放置分
束器或者平板。
通過(guò)兩個(gè)相同的明場(chǎng)物鏡，可以用任意放大倍率的物鏡來(lái)裝配
干涉儀。盡管如此，這類干涉儀調(diào)整起來(lái)也很困難，所以其商業(yè)用
途有限。林尼克干涉儀通常與一個(gè)具有高放大倍數(shù)、短工作距離的
物鏡一起配套使用。一個(gè)林尼克干涉儀由一個(gè)分束器、兩個(gè)相匹配
的顯微鏡物鏡和一個(gè)參考鏡組成。整個(gè)參考臂提供合適的路徑長(zhǎng)度
以便獲得干涉條紋。為了獲得最大條紋對(duì)比度和最小波前畸變，兩
個(gè)物鏡必須與分束鏡相匹配。
以上討論的三種物鏡都是通過(guò)邁克耳遜干涉儀演變而來(lái)的，都
屬于等光程干涉儀。
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