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本文標(biāo)題："電子顯微鏡技術(shù)電子束的等效波長及數(shù)值孔徑均較小"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2016-12-7 1:38:46 本站主頁地址：http://m.mhzljd.cn
電子顯微鏡技術(shù)電子束的等效波長及數(shù)值孔徑均較小
掃描顯微鏡表面測量技術(shù)
與上述光學(xué)儀器不同，掃描顯微鏡沒有光學(xué)物鏡，圖像的觀察不
是通過光學(xué)鏡面，而是通過計(jì)算機(jī)圖像監(jiān)視器。有兩種類型的掃描
顯微鏡，電子顯微鏡(Electron Microscope，EM)和掃描探針顯微
鏡(Scanning Probe Microscope，SPM)。
電子顯微鏡的基本原理較為簡單：從電子射源發(fā)出的電子經(jīng)多
級電磁透鏡匯聚成極細(xì)小的電子束探針，之后將電子束探針入射至
樣品表面從而激發(fā)出各種信號(hào)，通過對這些信號(hào)的檢測處理即可實(shí)
現(xiàn)對樣品表面的分析成像。．通常根據(jù)所檢測信號(hào)的
范圍，將電子顯微鏡細(xì)分為掃描電子顯微鏡(Scanning Electron M
icroscope，SEM)和透射電子顯微鏡(Tunneling Elec—tron Micro
scope，TEM)，機(jī)械加工樣品都是大塊基體，因此TEM并不適合于超
精密加工表面形貌的檢測。
SEM利用掃描線圈裝置使電子束探針在樣品表面進(jìn)行柵格掃描
，掃描的同時(shí)檢測電子束所激發(fā)出的二次電子，通過二次電子的強(qiáng)
度與被測表面形貌的關(guān)系獲得表面的掃描電子圖像。由于電子束的
等效波長及數(shù)值孔徑均較小，因而SEM具有納米級甚至更高的空間
分辨率
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