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本文標(biāo)題："光學(xué)零部件成像透鏡樣品分析圖像顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2017-9-18 21:28:33 本站主頁(yè)地址：http://m.mhzljd.cn
光學(xué)零部件成像透鏡樣品分析圖像顯微鏡
除了能夠反映表面或零件的局部缺陷之外，干涉圖像還反映了被測(cè)
波前的像差值信息。這與測(cè)試系統(tǒng)的相差直接相關(guān)。這就需要根據(jù)
干涉儀的配置類型來確定所有相差的來源。需要謹(jǐn)記．干涉圖表示
的是兩束干涉光之間的差異。因此，兩束光都經(jīng)過光學(xué)零部件如成
像透鏡或擴(kuò)束鏡時(shí)．其像差不會(huì)引起干涉圖變化。
這里．像差是指波面誤差．是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的光學(xué)系統(tǒng)的本質(zhì)屬性
。這些像差是理想球面波經(jīng)各種各樣變化后的實(shí)際波前。在干涉儀
中．理想的球面波常常是一個(gè)平面波；它可以看作是一個(gè)有無限曲
率半徑的球面波。從干涉圖得到的波面誤差是測(cè)量平面的誤差．測(cè)
量平面與探測(cè)平面相對(duì)于成像透鏡是共軛的。
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