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本文標(biāo)題："微型注模工藝-微型元件制備技術(shù)檢測顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2018-8-23 20:56:31 本站主頁地址：http://m.mhzljd.cn
微型注模工藝-微型元件制備技術(shù)檢測顯微鏡
微型元件制備技術(shù)
近年來微型元件制備技術(shù)，已成為一個(gè)重要發(fā)展方向。在21世
紀(jì)，滲透到科學(xué)技術(shù)各個(gè)部門的一個(gè)關(guān)鍵技術(shù)就是微系統(tǒng)技術(shù)。有
人認(rèn)為微系統(tǒng)技術(shù)是納米技術(shù)和人類社會的紐帶。微系統(tǒng)技術(shù)在資
訊科技、通訊、光電子、醫(yī)療、汽車等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。它已成
為提升競爭力的關(guān)鍵要素。它影響人類生活的多個(gè)方面。計(jì)算機(jī)和
手機(jī)就利用微系統(tǒng)技術(shù)所制造的萬億個(gè)微型元件完成其功能，使人
們可以在信息世界中遨游。微系統(tǒng)技術(shù)中一個(gè)重要組成部分，就是
微型元件制備工藝。高分子材料及金屬材料早就進(jìn)入微型元件的生
產(chǎn)，而陶瓷材料則是后進(jìn)者。原有的傳統(tǒng)制備工藝不一定適用，而
采用了新的制備工藝。常用的有：微型注模工藝、低壓力注模、熱
注工藝、印花瓷帶工藝、離心澆注、凝膠溶膠澆注、激光加工工藝
等等。最精細(xì)的激光加工，例如在人頭發(fā)(直徑60μm)上刻字。可
切割、鉆孔、標(biāo)記、拋光。分辨率可達(dá)0．5μm。一些微型傳感元
件，常采用功能陶瓷制造，可以監(jiān)控人們?nèi)粘Ｉ�。例如醫(yī)學(xué)診斷
用的微型超聲傳感器，是用4000個(gè)PZT壓電瓷柱(邊長100μm，高40
0μm)，排列在很小空間內(nèi)構(gòu)成的。一些微型傳感器(如同人的神經(jīng)
)，它送出測得的訊號到微處理器(相當(dāng)于人腦)，再控制驅(qū)動(dòng)器(相
當(dāng)于肌肉)從而完成反饋動(dòng)作。
這類微型元件的大量生產(chǎn)，主要是因?yàn)楫?dāng)時(shí)引入了厚膜及多層
工藝技術(shù)(其中精密絲網(wǎng)印刷起主要作用)。生產(chǎn)中多用電腦控制，
可自動(dòng)化、大批量生產(chǎn)。德國某陶瓷材料研究中心，建立了微裝配
系統(tǒng)，能滿足傳送、裝配、測量、調(diào)試等工序，其中一個(gè)主要部件
為工具變換系統(tǒng)。國際上已發(fā)展出一些結(jié)構(gòu)部件，如顯微光學(xué)、顯
微驅(qū)動(dòng)、顯微流動(dòng)、顯微醫(yī)療等以及微型泵、微混合器、吸附器、
微型反應(yīng)器等，并實(shí)現(xiàn)連續(xù)化生產(chǎn)。微型技術(shù)中所用陶瓷材料主要
為壓電鐵電等功能陶瓷，但也常涉及氧化鋁瓷、氧化鋯瓷及羥基磷
灰石瓷等。
已能制造的微型機(jī)械產(chǎn)品有：
(1)微型泵，如分幣大小、機(jī)殼用硅制造，將極微的壓電驅(qū)動(dòng)
片裝入殼內(nèi)，通電后引發(fā)振動(dòng)，可抽吸液體或氣體
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