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材料顯微結(jié)構(gòu)量測
工具顯微鏡廠商
由于科技的進步,薄膜技術(shù)發(fā)展扮演了非常重要的角色。薄膜技術(shù)應用方面,使原本三度空
間的塊體元件,縮減到二度空間的平面上,
其不僅使儀器體積大幅減少,在資訊處理與傳輸上,
因為距離縮減而增加其速度及精確度。
另外,薄膜在機械性質(zhì)應用上,有關(guān)防蝕、耐磨耗、隔熱等方面研究是薄膜應用上的要點
在薄膜材料的性質(zhì)上,系受到制程、顯微結(jié)構(gòu)、結(jié)晶方向、厚
度、雜質(zhì)以及界面等因素影響,即使相同成份,
所得到的性質(zhì)也會有些差異
近年來在晶型物質(zhì)的研究上,常使用之儀器
莫過于X光繞射儀(X-Ray Diffraction,XRD)。因為一個樣品的繞射圖可以提供給我們許多相
關(guān)資料。如:利用繞射線之波形,可以決定晶粒大小、晶格扭曲、晶格應力、晶格強度、決定晶
格常數(shù)、樣品成分…等
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