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本文標(biāo)題："光源如果是用特別穩(wěn)定的激光精度可達(dá)到0.5微米"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2015-7-16 20:04:37 本站主頁地址：http://m.mhzljd.cn
光源如果是用特別穩(wěn)定的激光精度可達(dá)到0.5微米
激光干涉測長儀
光源如果是用干涉特性特別穩(wěn)定的激光，就可以得到大的光程
差，能得到明顯的于波條紋，激光的波長為0.6328μm。
用激光干涉方法是可以高靈敏度來測長，這是有利之處，然而
由于測長范圍大所以對溫度變化、氣壓變化比較敏感，這是要注
意的，測量1米的物體時(shí)精度在幾微米，如對外部的影響特別注
意時(shí)，其精度可達(dá)到0.5微米以下，激光干涉儀的主要用途在對
磁標(biāo)尺的刻度間隔或精度傳動絲杠的螺距進(jìn)行測量，還可以用在
對機(jī)床的工作臺、測量儀的移動臺等移動量的檢測。
干涉測微計(jì)
采用邁克爾遜干涉原理的-黑田干涉測微計(jì)的結(jié)構(gòu)原
理，由鏡和測頭上面的鏡，反射來的光相互干涉，利用目鏡來觀
察干涉條紋，首先測量量塊，主要是用于要求高精度的尺寸，分
度值為0.1μm，指示范圍為+6μm。
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